产品型号
移动方向
台面尺寸
重复定位精度
最大速度
负载
行程
操作
移动方向：
Z轴水平升降
台面尺寸：
40*40mm
重复定位精度：
±5μm
最大速度：
10mm/sec
负载：
3kgf
行程：
6mm
移动方向：
Z轴水平升降
台面尺寸：
60*60mm
重复定位精度：
±5μm
最大速度：
10mm/sec
负载：
3kgf
行程：
8mm
移动方向：
Z轴水平升降
台面尺寸：
60*88mm
重复定位精度：
±1.5μm
最大速度：
10mm/sec
负载：
7kgf
行程：
4mm
移动方向：
Z轴水平升降
台面尺寸：
60*80mm
重复定位精度：
±1.5μm
最大速度：
20mm/sec
负载：
5kgf
行程：
10mm
移动方向：
Z轴水平升降
台面尺寸：
80*105mm
重复定位精度：
±1.5μm
最大速度：
20mm/sec
负载：
5kgf
行程：
12mm
移动方向：
Z轴水平升降
台面尺寸：
120*120mm
重复定位精度：
±1.5μm
最大速度：
10mm/sec
负载：
20kgf
行程：
12mm
移动方向：
Z轴水平升降
台面尺寸：
140*200mm
重复定位精度：
±1.5μm
最大速度：
40mm/sec
负载：
40kgf
行程：
30mm
