产品型号
移动方向
台面尺寸
高度（厚）
最大速度
重复定位精度
行程
负载
操作
移动方向：
Z轴垂直升降
台面尺寸：
60*60mm
高度（厚）：
_
最大速度：
10mm/sec
重复定位精度：
±1.5μm
行程：
20mm
负载：
5kgf
移动方向：
Z轴垂直升降
台面尺寸：
60*60mm
高度（厚）：
_
最大速度：
10mm/sec
重复定位精度：
±1.5μm
行程：
30mm
负载：
5kgf
移动方向：
Z轴垂直升降
台面尺寸：
60*80mm
高度（厚）：
_
最大速度：
10mm/sec
重复定位精度：
±1.5μm
行程：
50mm
负载：
5kgf
移动方向：
XYZ轴
台面尺寸：
40*40mm
高度（厚）：
_
最大速度：
10mm/sec
重复定位精度：
±1.5μm
行程：
15mm
负载：
5kgf
移动方向：
XYZ轴
台面尺寸：
60*60mm
高度（厚）：
_
最大速度：
10mm/sec
重复定位精度：
±1.5μm
行程：
15mm
负载：
5kgf
移动方向：
XYZ轴
台面尺寸：
60*60mm
高度（厚）：
_
最大速度：
10mm/sec
重复定位精度：
±1.5μm
行程：
20mm
负载：
5kgf
移动方向：
XYZ轴
台面尺寸：
60*60mm
高度（厚）：
_
最大速度：
10mm/sec
重复定位精度：
±1.5μm
行程：
30mm
负载：
5kgf
移动方向：
XYZ轴
台面尺寸：
60*80mm
高度（厚）：
_
最大速度：
10mm/sec
重复定位精度：
±1.5μm
行程：
50mm
负载：
5kgf
